| Kommentar |
Die Studierenden kennen die Funktionsweise moderner Lasersysteme, die im Bereich der Halbeitertechnik verwendet werden, und können ihre Funktionsweise basierend auf theoretischen Modellen erläutern. Sie können die Wechselwirkung von Laserlicht mit Materie theoretisch beschreiben. Sie analysieren optische Emissionsspektren (Lumineszenz, Plasma, Raman-Streuung, zeitaufgelöste Signale) und können anhand dieser Spektren Rückschlüsse auf Material und Wechselwirkungsprozesse ziehen. Sie kennen die grundlegenden Verfahren der Lasermaterialbearbeitung, insbesondere auch mit modernen Ultrakurzpulslasern. Sie können nichtlinear-optische Prozesse theoretisch beschreiben und kennen ihre Bedeutung für die laserbasierten Methoden in der Halbleitertechnik. Sie nehmen optische Spektren aus laserbasierten Prozessen unter Anleitung auf und fertigen selbstständig eine wissenschaftliche Auswertung und Interpretation an, die sie in einer kurzen Präsentation vorstellen.
Inhalte:
Grundlagen der Lasertechnik
Erzeugung ultrakurzer Laserpulse
Charakterisierung von Laserstrahlen und Laserpulsen
Spektroskopie mit sub-Nanosekunden-Zeitauflösung
Grundlagen der nichtlinearen Optik
Licht-Materie-Wechselwirkung
Laserbasierte Materialbearbeitung in der Halbleitertechnik
Moderne Spektroskopiemethoden in der Halbleitertechnik |
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