Labor NanoSystemsEngineering - Einzelansicht

Termine
	Tag	Zeit	Rhythmus	Dauer	Raum	Raum- plan	Lehrperson	Status	fällt aus am	Max. Teilnehmer/-innen
	Di.	15:00 bis 16:30	woch		Voraussichtlicher Raum: HS66.1021		Bakin , Johannes , Kowalsky , Schilling , Voß , Waag

Zugeordnete Personen
Zugeordnete Personen	Zuständigkeit
Bakin, Andrey , apl. Prof. Dr.	verantwortlich
Johannes, Hans-Hermann , Dr. rer. nat.	verantwortlich
Kowalsky, Wolfgang , Prof. Dr.-Ing.	verantwortlich
Schilling, Meinhard , Prof.Dr.rer.nat.	verantwortlich
Voß, Tobias , Prof. Dr. rer. nat.	verantwortlich
Waag, Andreas , Prof. Dr. rer. nat. habil.	verantwortlich

Zuordnung zu Einrichtungen
Institut für Halbleitertechnik

Inhalt
Kommentar	Die Studierenden sind nach Abschluss dieses Moduls mit grundlegenden Charakterisierungsverfahren von Halbleitern und Nanostrukturen sowie mit modernsten Aufbau- und Verbindungstechniken der Mikro-elektronik und Nanotechnologie vertraut. Damit erlangen die Studierenden praktische Erfahrungen mit der Aufbautechnik und Messmethoden. Das Praktikum besteht aus mehreren Versuchen zur Aufbau- und Verbindungstechnik z. B. zur Herstellung von LED- Displays sowie dem Einsatz der Rastersondenmikroskopie zur Charakterisierung von Halbleitern und Nanostrukturen.
Literatur	Skript