| Kommentar |
−physikalische und chemische Grundlagen −Herstellung von Si- und GaAs-Einkristallen −epitaktische Kristallzuchtverfahren und Kristalldefekte −organische Halbleiter −Dotierverfahren −Metall-Halbleiter-Kontakte −Halbleitermesstechnik −Grundlagen zur Photolithographie, Abscheideverfahren für Dielektrika und Ätzverfahren |
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