Halbleitertechnologie - Einzelansicht

Termine
	Tag	Zeit	Rhythmus	Dauer	Raum	Raum- plan	Lehrperson	Status	fällt aus am	Max. Teilnehmer/-innen
	Fr.	08:00 bis 09:30	woch		Voraussichtlicher Raum: HS 66.919		Bakin			20

Zugeordnete Person
Zugeordnete Person	Zuständigkeit
Bakin, Andrey , apl. Prof. Dr.	verantwortlich

Zuordnung zu Einrichtungen
Institut für Halbleitertechnik

Inhalt
Kommentar	Die Studierenden sind nach Abschluss dieses Moduls mit den grundlegenden Herstellungstechnologien von Halbleitern und daraus gefertigten Bauelementen und integrierten Schaltungen vertraut. Mit diesen erlernten Grundlagen sind sie in der Lage die Prinzipien modernster Herstellungsverfahren der Halbleitertechnik zu erkennen und ihre Wirkungsweisen zu verstehen. Darüber hinaus können sie Trends in den Entwicklungen analysieren und extrapolieren.
Literatur	Waldemar von Münch: Einführung in die Halbleitertechnologie; Teubner(1998) Ingolf Ruge, Hermann Mader: Halbleiter-Technologie Springer (1991) Werner Prost: Technologie der III/V-Halbleiter, Springer (1997) Ulrich Hilleringmann: Silizium-Halbleitertechnologie, Teubner (2004) Ausführliches Skript in Englisch Vorlesungsfolien