Halbleitermesstechnik - Einzelansicht

Termine
	Tag	Zeit	Rhythmus	Dauer	Raum	Raum- plan	Lehrperson	Status	fällt aus am	Max. Teilnehmer/-innen
	Di.	08:00 bis 09:30	woch		Voraussichtlicher Raum: HS 66.919		Peiner			20

Zugeordnete Person
Zugeordnete Person	Zuständigkeit
Peiner, Erwin , apl. Prof. Dr. rer. nat.	verantwortlich

Zuordnung zu Einrichtungen
Institut für Halbleitertechnik

Inhalt
Kommentar	−grundlegendes Verständnis der wichtigsten Verfahren zur Charakterisierung von Halbleiterwerkstoffen −Fähigkeit zur Auswahl geeigneter Verfahren für die Qualitätskontrolle bei der Herstellung von Halbleiterbauelementen −eingehende Kenntnisse und praktische Erfahrung bei der Analyse und Bewertung von Messergebnissen an Volumenkristallen, Schichten sowie mikro- und nanostrukturierten Bauelementen
Literatur	K. Kopitzki: Einführung in die Festköperphysik (Teubner, Stuttgart, 1989) H. Alexander: Physikalische Grundlagen der Elektronenmikroskopie (Teubner, Stuttgart, 1997) W. Prost: Technologie der III/V-Halbleiter: III/V-Heterostrukturen und elektronische Höchstfrequenz-Bauelemente (Springer, Berlin, 1997) W. Schäfer, G. Terlecki: Halbleiterprüfung (Hüthig, Heidelberg, 1986) D. K. Schroder: Semiconductor Material and Device Characterization (Wiley, New York, 1990) R. Wiesendanger (Hrsg): Scanning Probe Microscopy - Analytical Methods (Springer, Berlin, 1998)